PVD涂层有哪些

　　PVD涂层有哪些?硬质涂层按化学成分大致分类如下：

　　1.金属氮化物汰层。

　　过渡族金属Ti、Cr、V、Tn、Nb、Zr、Hf等易与氮原子结合生成金属氮化物，这些氮化物都具有熔点高、硬度大、韧性适当、化学稳定性好等特点。

　　2金属碳化物涂层

　　金属Ti、V、w、’I、a、z?、M。、t：r等都可与碳原子反应，生成金属碳化物涂层，与金属氯化物相似，金属碳化物涂层也是具有化学稳定性好、熔点高、硬度大的持点，其硬度比同种元素氮化物的硬度还要大，这是由于碳化物有更加明显的共价键所致，但韧性不好，较脆。

　　3金属氧化物涂层L?N

　　金属氧化物涂层主要仑A12()：、2r()2、crz()3和v(k等，这些氧化物涂层致密、硬度大，化学稳定性好，特别耐高温氧化和腐蚀，但涂层很脆，韧性很低，受力后极易破碎，力学性能不理想，使用时往往需要适当的过渡层。

　　4金届硼化物涂eLd

　　金届硼化物涂层土要有TiB2、vGz、TaB2、w 2比、zr认等。目前，对于硼化物涂层的研究远不如对碳化物和氮化物充分。其原因子要是硼的来源不像氮与碳方便和安全，类似的硼烷是剧毒气体。硼化物和相应的碳化物比较，硬度不相k下，有些还略高一些(由于硼化物的共价键程度更高些)。

　　5其他全届合杂及化合物涂尼

　　除了上述几种典型的涂层外，硬质防护涂层还有Fc—A1、Ti—A1、NkAl、Nlt：旷Lr—A1—Y以及磷化物、硅化物等徐层，这些涂层沉积在结构材料的构件上，能够发挥其抗高温氧化、硫化及抗高温冲蚀等优早的性能。